随着人们生活品质的提高，对电子产品质量的要求也越来越严格。电子厂无尘车间，要满足的一个重要条件就是需保持恒温恒湿。恒定的湿度可以减少无尘车间、洁净室表面的静电荷积累。当相对湿度超过50%时，静电荷开始迅速消散，但是当相对湿度小于30%时，它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。

对于电厂无尘车间来说，相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中方案。其中，半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。多数化学反映的速度，包括腐蚀过程，将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在电子厂无尘车间、洁净室周围空气中的表面，都会很快地被覆盖上至少一层单分子层的水。当这些表面是由可以与水反应的薄金属涂层组成时，高湿度可以使反应加速。

在电子厂无尘车间中，SMT车间对温度有明确的要求。首先，主要是为了锡膏能在一个较好的环境中工作。温度会影响锡膏的活性，对于里面所添加的助焊剂等相关溶剂的活性有一定影响。温度高会增加其的活性，最终影响丝印贴装及回流的效果，从而容易出现虚焊，焊点不光泽等现象。

在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。因此，此类电子厂无尘车间，对恒温的要求会更高。直径100um的硅片，温度上升1度，会引起0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值不能过高。人在出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。电子厂无尘车间的温湿度控制由其生产工艺决定，但其控制精度同时也要看无尘车间内房间的大小。