洁净度的检测应符合下列规定：

1、应用采样量超过1L/min的光学粒子计数器，在检测仪器选用时要充分考虑粒径鉴别能力、粒子浓度适用的范围和计数效率。检测仪器需具有可行有效的标定合格证书。

2、最少采样点数可按下面方式计算：

式中：NL——最少采样点；

A——洁净室或被控洁净区的面积(㎡)。

3、采样点应均匀的分散于洁净室（区）的所有使用面积内，并设在工作活动的高度，活动高度宜距室内地坪0.8米；各个采样点的最少采样时长为1分钟。

4、每一采样点的一次采样量应最少为2升，采样量应按下面方式计算：

式中：VS——每个采样点的每次采样量，以L表示；当VS很大时，可使用顺序采样法；

Cn·m——被测洁净室空气洁净度等级的被测粒径的限值(pc/m³)；

20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度等级限值时，可测到的粒子颗数(pc)。

5、当洁净室（区）只有一个采样点时，则在该点最少采样3次或以上。

对超出等级范围粒子的检测应符合下列规定：

1、在产品制作工艺有要求时，可按等级粒径范围以外的粒子浓度值要求室内空气洁净度等级的水平。此种粒子的最大浓度值和检测方法应由客户与建造商商议判定。

2、当需评估小于0.1微米的粒子导致的空气污染危险时，应选用合乎这类粒子具体特性的采样方法和设备；可单独使用U描述符详细说明超微粒子浓度值，也可将它做为飘浮粒子空气洁净度等级的补充说明。

U描述符用“U(χ，y)”表示，当中χ为超微粒子的最大浓度值(pc/m³)，y为以微米计的粒径。

举个例子：粒径范围等于或大于0.01微米的最大允许超微粒子的浓度值为每立方米140000个，应表示为“U(140000，0.01微米)”。

3、当需评估大于5μm的粒子导致的空气污染危险时，应选用合乎这类粒子具体特性的采样设备和采样方法。可单独使用M描述符详细说明大于5μm的粒子浓度值，也可将它做为飘浮粒子室内空气洁净度等级的补充说明。

M描述符用“M（a，b）；c”表示，当中a为大粒子的最大浓度值(pc/m³)，b为与要求的大粒子测量方法相对应的当量直径(微米)，c为要求的测量方法。

举个例子：选用显微镜对多级碰撞采样器采集的粒子开展检测工作，测量得到10微米～20微米粒径范围的飘浮粒子浓度值为每立方米1000个，则用M描述符表示为“M(1000；10微米～20微米)；多级碰撞采样器以显微镜测定粒径并计数”。