洁净室，亦称为无尘室或清洁室。它是污染控制的基础。没有无尘室，污染敏感零件不可能批量生产。在FED-STD-2里面，无尘室被定义为具备空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间，其中特定的规则的操作程序以控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级別。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除、并将室内之温度、洁净度、室内压カ、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。

工业洁净室研究对象主要是灰尘、粒子只有一次污染；而生物洁净室主要是微生物、病菌等活的粒子不断生长繁殖，而且会诱发二次污染（代谢物、粪便）。

工业洁净室控制方法净化措施主要是采取过滤方法。粗、中、高三级过滤，粗、中、高、超高四级过滤和化学过滤器等；生物洁净室主要是采取铲除微生物生长的条件，控制微生物的生长、繁殖和切断微生物的传播途径，过滤和灭菌等。

工业洁净室的控制目标是控制有害粒径粒子浓度；而生物洁净室主要是控制微生物的产生、繁殖和传播，同时控制其代谢物。

工业洁净室对生产工艺的危害的关键部位只要是一颗灰尘就能造成产品极大的危害；而有害的微生物达到一定的浓度以后才能构成危害。

工业洁净室对洁净室建筑材料的要求是所有材料（墙、顶、地等）不产尘、不积尘、耐磨檫；而生物洁净室是所有材料应耐水、耐腐化且不能提供微生物生长繁殖的条件。

工业洁净室对人和物进入的控制是人进入要换鞋、更衣、吹淋；物料进入要清洗、擦拭。人和物要分流，洁污要分流；而生物洁净室是人进入要换鞋、更衣、淋浴、灭菌；物进入要擦拭、清洗、灭菌；空气送入要过滤、灭菌，人物分流，洁污。

工业洁净室检测灰尘粒子计数器检测瞬间粒子浓度并显示和打印；生物洁净室的微生物检测不能瞬时值，须经48小时培养才能读出菌落数量。